|
Damage production in GaAs during MeV ion implantation |
|
|
|
Titel: |
Damage production in GaAs during MeV ion implantation |
Auteur: |
Herre, O. Wendler, E. Achtziger, N. Licht, T. Reislöhner, U. Rüb, M. Bachmann, T. Wesch, W. Gaiduk, P.I. Komarov, F.F. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 120 (1996) nr. 1-4 pagina's 6 p. |
Jaar: |
1996 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|