|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 55 van 97 gevonden artikelen
| Titel: |
Metallization introduced corrosion and parylene protection of surface micromachined polysilicon film with submicron capacitive gap |
| Auteur: |
Zhang, Yiming Wang, Yunda Cai, Ming Wang, Ying Hao, Yilong Chen, Jing |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 97 (2012) nr. C pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 55 van 97 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |