|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 43 gevonden artikelen
| Titel: |
Frequency effects on the dielectric properties of AlN film deposited by radio frequency reactive magnetron sputtering |
| Auteur: |
Song, Xiufeng Fu, Renli He, Hong |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 86 (2009) nr. 11 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 43 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |