|
Enhancement of effective dielectric constant using high-temperature mixed and sub-nano-laminated atomic layer deposited Y2O3/Al2O3 on GaAs(001) |
|
|
|
Titel: |
Enhancement of effective dielectric constant using high-temperature mixed and sub-nano-laminated atomic layer deposited Y2O3/Al2O3 on GaAs(001) |
Auteur: |
Lin, K.Y. Young, L.B. Cheng, C.K. Chen, K.H. Lin, Y.H. Wan, H.W. Cai, R.F. Lo, S.C. Li, M.Y. Kwo, J. Hong, M. |
Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
Paginering: |
Jaargang 178 (2017) nr. C pagina's 271-274 |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|