|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 134 van 138 gevonden artikelen
| Titel: |
Tuning the dielectric properties of hafnium silicate films |
| Auteur: |
Fachmann, Christian Frey, Lothar Kudelka, Stephan Boescke, Tim Nawka, Stefan Erben, Elke Doll, Theodor |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 84 (2007) nr. 12 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 134 van 138 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |