|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 155 van 187 gevonden artikelen
| Titel: |
Study of nano-mechanical properties for thin porous films through instrumented indentation: SiO2 low dielectric constant films as an example |
| Auteur: |
Herrmann, M. Richter, F. Schulz, S.E. |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 85 (2008) nr. 10 pagina's 3 p. |
| Jaar: |
2008 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 155 van 187 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |