|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 133 van 187 gevonden artikelen
| Titel: |
Phosphorous doped SOG as a pre-metal-dielectric for sub-50nm technology nodes |
| Auteur: |
Das, Arabinda Stavrev, Momtchil Prenz, Heike Schardin, Markus Uhlig, Ines Graf, Werner Sperlich, Hans-Peter |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 85 (2008) nr. 10 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2008 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 133 van 187 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |