|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 23 van 25 gevonden artikelen
| Titel: |
The double ring magnetron process module —a tool for stationary deposition of metals, insulators and reactive sputtered compounds |
| Auteur: |
Frach, P. Gottfried, Chr. Bartzsch, H. Goedicke, K. |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 90 (1997) nr. 1-2 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
1997 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science S.A. All rights reserved |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 23 van 25 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |