|
W-ion irradiation promotes dense TiB x film growth during magnetron sputtering without substrate heating |
|
|
|
Titel: |
W-ion irradiation promotes dense TiB x film growth during magnetron sputtering without substrate heating |
Auteur: |
Viskupová, K. Šroba, V. Lu, J. Primetzhofer, D. Wicher, B. Rogoz, V. Roch, T. Truchlý, M. Mikula, M. Petrov, I. Hultman, L. Greczynski, G. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 497 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
The Authors |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|