|
Integrated vertical force transfer structure for high-performance MEMS-based array piezoresistive tactile sensor |
|
|
|
Titel: |
Integrated vertical force transfer structure for high-performance MEMS-based array piezoresistive tactile sensor |
Auteur: |
Wang, Shan Gao, Yu Zhang, Minli Li, Chenyuan Yue, Chenxi Zhang, Jianhao Cheng, Jiagen Zhong, Yuxin Hu, Mengyi Liu, Zhihui Fiadosenka, Uladzimir Liu, Chaoran Dong, Linxi |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 497 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|