Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 13 van 25 gevonden artikelen
 
 
  Effect of plasma power on growth process, chemical structure, and properties of PECVD films produced from hexamethyldisilane and ammonia
 
 
Titel: Effect of plasma power on growth process, chemical structure, and properties of PECVD films produced from hexamethyldisilane and ammonia
Auteur: Ermakova, Evgeniya
Shayapov, Vladimir
Saraev, Andrey
Maximovsky, Eugene
Kirienko, Viktor
Khomyakov, Maksim
Sulyaeva, Veronica
Kolodin, Aleksey
Gerasimov, Evgeny
Kosinova, Marina
Verschenen in: Surface & coatings technology
Paginering: Jaargang 490 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2024
Inhoud:
Uitgever: Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 13 van 25 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland