|
Effect of substrate temperature on growth mechanism and properties of PEALD-MgO dielectric films for amorphous-IGZO TFTs |
|
|
|
Titel: |
Effect of substrate temperature on growth mechanism and properties of PEALD-MgO dielectric films for amorphous-IGZO TFTs |
Auteur: |
Su, Zhan-Bo Zhang, Xiao-Ying Lin, Xiao Li, Xiao-Long Quan, Cheng-Xiang Hsu, Chia-Hsun Gao, Peng Wu, Wan-Yu Wuu, Dong-Sing Lai, Feng-Min Lien, Shui-Yang |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 483 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|