|
Effect of geometric position on the film properties for a complex-shaped substrate in HiPIMS discharge: Experiment and simulation |
|
|
|
Titel: |
Effect of geometric position on the film properties for a complex-shaped substrate in HiPIMS discharge: Experiment and simulation |
Auteur: |
Hua, Li Yang, Luo Mingyue, Han Ling, Tang Jiabin, Gu Guodong, Li Dachen, Deng Hongtao, Liu Kai, Huang Liuhe, Li |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 434 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2022 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|