|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 51 gevonden artikelen
| Titel: |
Bipolar pulsed reactive magnetron sputtering of epitaxial AlN- films on Si(111) utilizing a technology suitable for 8″ substrates |
| Auteur: |
Neuhaus, Stefan Bartzsch, Hagen Cornelius, Steffen Pingen, Katrin Hinz, Alexander Frach, Peter |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 429 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 51 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |