|
Time-averaged and time-resolved ion fluxes related to reactive HiPIMS deposition of Ti-Al-N films |
|
|
|
Titel: |
Time-averaged and time-resolved ion fluxes related to reactive HiPIMS deposition of Ti-Al-N films |
Auteur: |
Zauner, L. Bahr, A. Kozák, T. Čapek, J. Wojcik, T. Hunold, O. Kolozsvári, S. Zeman, P. Mayrhofer, P.H. Riedl, H. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 424 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
The Author(s) |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|