|
Study of titanium nitride film growth by plasma enhanced pulsed laser deposition at different experimental conditions |
|
|
|
Titel: |
Study of titanium nitride film growth by plasma enhanced pulsed laser deposition at different experimental conditions |
Auteur: |
Escalona, M. Bhuyan, H. Ibacache, S. Retamal, M.J. Saikia, P. Borgohain, C. Valenzuela, J.C. Veloso, F. Favre, M. Wyndham, E. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 405 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|