|
A comparative study on atomic layer deposited oxide film morphology and their electrical breakdown |
|
|
|
Titel: |
A comparative study on atomic layer deposited oxide film morphology and their electrical breakdown |
Auteur: |
Reklaitis, I. Radiunas, E. Malinauskas, T. Stanionytė, S. Juška, G. Ritasalo, R. Pilvi, T. Taeger, S. Strassburg, M. Tomašiūnas, R. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 399 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2020 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|