|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 19 gevonden artikelen
| Titel: |
Mechanical property evaluation of ZrSiN films deposited by a hybrid superimposed high power impulse- medium frequency sputtering and RF sputtering system |
| Auteur: |
Tang, Qi-Lin Wu, Yu-Chuan Lou, Bih-Show Chen, Zhen-Yu Lee, Jyh-Wei |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 376 (2019) nr. C pagina's 59-67 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 19 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |