|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 36 van 45 gevonden artikelen
| Titel: |
Removing overhang and increasing atom re-deposition of sputtering to enable gap-filling scalability |
| Auteur: |
Ren, Wanchun Liu, Bo Bao, Binhao Song, Zhitang |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 353 (2018) nr. C pagina's 309-315 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 36 van 45 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |