|
Investigation of microstructure and properties of magnetron sputtered Zr-Si-N thin films with different Si content |
|
|
|
Titel: |
Investigation of microstructure and properties of magnetron sputtered Zr-Si-N thin films with different Si content |
Auteur: |
Silva Neto, P.C. Freitas, F.G.R. Fernandez, D.A.R. Carvalho, R.G. Felix, L.C. Terto, A.R. Hubler, R. Mendes, F.M.T. Silva Junior, A.H. Tentardini, E.K. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 353 (2018) nr. C pagina's 355-363 |
Jaar: |
2018 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|