|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 54 van 122 gevonden artikelen
| Titel: |
Impact of ion energies in Ar/H2 capacitively coupled radio frequency discharges on PEALD processes of titanium films |
| Auteur: |
Iwashita, Shinya Denpoh, Kazuki Kikuchi, Takamichi Suzuki, Yusuke Wagatsuma, Yuichiro Hasegawa, Toshio Moriya, Tsuyoshi |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 350 () nr. C pagina's 740-744 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 54 van 122 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |