|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 49 gevonden artikelen
| Titel: |
Aluminum nitride thin films deposited by hydrogen plasma enhanced and thermal atomic layer deposition |
| Auteur: |
Tian, L. Ponton, S. Benz, M. Crisci, A. Reboud, R. Giusti, G. Volpi, F. Rapenne, L. Vallée, C. Pons, M. Mantoux, A. Jiménez, C. Blanquet, E. |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 347 () nr. C pagina's 181-190 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 49 gevonden artikelen
| volgende >> |