|
Carbon coatings with high concentrations of silicon deposited by RF PECVD method at relatively high self-bias |
|
|
|
Titel: |
Carbon coatings with high concentrations of silicon deposited by RF PECVD method at relatively high self-bias |
Auteur: |
Jedrzejczak, A. Batory, D. Dominik, M. Smietana, M. Cichomski, M. Szymanski, W. Bystrzycka, E. Prowizor, M. Kozlowski, W. Dudek, M. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 329 (2017) nr. C pagina's 6 p. |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|