|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 9 gevonden artikelen
| Titel: |
Multi-model simulation of 300mm silicon-nitride thin-film deposition by PECVD and experimental verification |
| Auteur: |
Xia, Huanxiong Xiang, Dong Yang, Wang Mou, Peng |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 297 (2016) nr. C pagina's 10 p. |
| Jaar: |
2016 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 9 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |