|
Mechanical properties of aluminum, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition |
|
|
|
Titel: |
Mechanical properties of aluminum, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition |
Auteur: |
Jõgiaas, Taivo Zabels, Roberts Tamm, Aile Merisalu, Maido Hussainova, Irina Heikkilä, Mikko Mändar, Hugo Kukli, Kaupo Ritala, Mikko Leskelä, Markku |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 282 (2015) nr. C pagina's 7 p. |
Jaar: |
2015 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|