|
Characterization of TiAlSiON coatings deposited by plasma enhanced magnetron sputtering: XRD, XPS, and DFT studies |
|
|
|
Titel: |
Characterization of TiAlSiON coatings deposited by plasma enhanced magnetron sputtering: XRD, XPS, and DFT studies |
Auteur: |
Kamenetskih, A.S. Kukharenko, A.I. Kurmaev, E.Z. Skorikov, N.A. Gavrilov, N.V. Cholakh, S.O. Chukin, A.V. Zainullina, V.M. Korotin, M.A. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 278 (2015) nr. C pagina's 5 p. |
Jaar: |
2015 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|