|
Niobium nitride thin films deposited by high temperature chemical vapor deposition |
|
|
|
Titel: |
Niobium nitride thin films deposited by high temperature chemical vapor deposition |
Auteur: |
Mercier, Frédéric Coindeau, Stéphane Lay, Sabine Crisci, Alexandre Benz, Matthieu Encinas, Thierry Boichot, Raphaël Mantoux, Arnaud Jimenez, Carmen Weiss, François Blanquet, Elisabeth |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 260 (2014) nr. C pagina's 7 p. |
Jaar: |
2014 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|