|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 40 gevonden artikelen
| Titel: |
Chemical mechanical planarization (CMP) of on-axis Si-face SiC wafer using catalyst nanoparticles in slurry |
| Auteur: |
Zhou, Yan Pan, Guoshun Shi, Xiaolei Gong, Hua Luo, Guihai Gu, Zhonghua |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 251 (2014) nr. C pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 40 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |