Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 4 van 18 gevonden artikelen
 
 
  Effect of VHF excitation frequency on localized deposition of silicon in non-equilibrium-plasma-enhanced CVD by an under-expanded supersonic jet
 
 
Titel: Effect of VHF excitation frequency on localized deposition of silicon in non-equilibrium-plasma-enhanced CVD by an under-expanded supersonic jet
Auteur: Kuribayashi, Shizuma
Tsunekawa, Yoshihiro
Akahori, Shoji
Ando, Daisuke
Nakamura, Jiro
Nishida, Satoshi
Muta, Hiroshi
Takeuchi, Yoshiaki
Yamauchi, Yasuhiro
Takatsuka, Hiromu
Verschenen in: Surface & coatings technology
Paginering: Jaargang 225 (2013) nr. C pagina's 4 p.
Jaar: 2013
Inhoud:
Uitgever: Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 4 van 18 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland