|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 45 gevonden artikelen
| Titel: |
Hydrogen-plasma-assisted hybrid atomic layer deposition of Ir thin film as novel Cu diffusion barrier |
| Auteur: |
Song, Sang In Lee, Jong Ho Choi, Bum Ho Lee, Hong Kee Shin, Dong Chan Lee, Jin Wook |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 211 (2012) nr. C pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 45 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |