|
Development and irradiation performance of stencil masks for heavy-ion patterned implantation |
|
|
|
Titel: |
Development and irradiation performance of stencil masks for heavy-ion patterned implantation |
Auteur: |
Zheng, B. Iketa, N. Sato, K. Sato, R. Song, M. Takeda, Y. Amekura, H. Oyoshi, K. Kono, K. Ila, D. Kishimoto, N. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 206 (2011) nr. 5 pagina's 6 p. |
Jaar: |
2011 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|