|
Deposition of PZT thin film onto copper-coated polymer films by mean of pulsed-DC and RF-reactive sputtering |
|
|
|
Titel: |
Deposition of PZT thin film onto copper-coated polymer films by mean of pulsed-DC and RF-reactive sputtering |
Auteur: |
Suchaneck, G. Labitzke, R. Adolphi, B. Jastrabik, L. Adamek, P. Drahokoupil, J. Hubicka, Z. Kiselev, D.A. Kholkin, A.L. Gerlach, G. Dejneka, A. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 205 (2011) nr. S2 pagina's 4 p. |
Jaar: |
2011 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|