Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 35 van 93 gevonden artikelen
 
 
  Electron shading damage enhancement due to nonuniform in-hole etch rate in deep contact-hole process
 
 
Titel: Electron shading damage enhancement due to nonuniform in-hole etch rate in deep contact-hole process
Auteur: Lee, Jeongyun
Kim, Seok-Nyeon
Kim, Dong-Hwan
Chung, Ilsub
Verschenen in: Surface & coatings technology
Paginering: Jaargang 205 (2010) nr. S1 pagina's 5 p.
Jaar: 2010
Inhoud:
Uitgever: Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 35 van 93 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland