|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 77 van 135 gevonden artikelen
| Titel: |
Large area SiH4/H2 VHF plasma produced at high pressure using multi-rod electrode |
| Auteur: |
Yamauchi, Yasuhiro Takeuchi, Yoshiaki Takatsuka, Hiromu Kai, Yuichi Muta, Hiroshi Kawai, Yoshinobu |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 202 (2008) nr. 22-23 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2008 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 77 van 135 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |