Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 156 van 213 gevonden artikelen
 
 
  SiO x N y thin film deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition at low temperature using HMDS–O2–NH3–Ar gas mixtures
 
 
Titel: SiO x N y thin film deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition at low temperature using HMDS–O2–NH3–Ar gas mixtures
Auteur: Lee, J.H.
Jeong, C.H.
Lim, J.T.
Zavaleyev, V.A.
Kyung, S.J.
Yeom, G.Y.
Verschenen in: Surface & coatings technology
Paginering: Jaargang 201 (2007) nr. 9-11 pagina's 4 p.
Jaar: 2007
Inhoud:
Uitgever: Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 156 van 213 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland