|
Selective etching in LiNbO3 combined of MeV O and Si ion implantation with wet-etch technique |
|
|
|
Titel: |
Selective etching in LiNbO3 combined of MeV O and Si ion implantation with wet-etch technique |
Auteur: |
Wang, Lei Wang, Ke-Ming Wang, Xue-Lin Chen, Feng Jiang, Yi Jia, Chuan-Lei Jiao, Yang Lu, Fei Shen, Ding-Yu Ma, Hong-Ji Nie, Rui |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 201 (2007) nr. 9-11 pagina's 4 p. |
Jaar: |
2007 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|