|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 68 van 122 gevonden artikelen
| Titel: |
MOCVD of tantalum nitride thin films from TBTEMT single source precursor as metal electrodes in CMOS applications |
| Auteur: |
Lemberger, M. Thiemann, S. Baunemann, A. Parala, H. Fischer, R.A. Hinz, J. Bauer, A.J. Ryssel, H. |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 201 (2007) nr. 22-23 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 68 van 122 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |