|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 22 van 75 gevonden artikelen
| Titel: |
Effects of showerhead shapes on the flowfields in a RF-PECVD reactor |
| Auteur: |
Kim, You-Jae Boo, Jin-Hyo Hong, Byungyou Kim, Youn J. |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 193 (2005) nr. 1-3 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 22 van 75 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |