|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 23 gevonden artikelen
| Titel: |
Microstructure evolution of AlN films deposited under various pressures by RF reactive sputtering |
| Auteur: |
Cheng, Hao Sun, Yong Hing, Peter |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 166 (2003) nr. 2-3 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 23 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |