|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 31 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Substrate heating by sputter-deposition of AlN: the effects of dc and rf discharges in nitrogen atmosphere |
| Auteur: |
Drüsedau, Tilo P Koppenhagen, Kay |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 153 (2002) nr. 2-3 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 31 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |