Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 6 van 63 gevonden artikelen
 
 
  Characteristics of BF3 plasma-doped gate/source/drain for 0.18-μm pMOSFETs
 
 
Titel: Characteristics of BF3 plasma-doped gate/source/drain for 0.18-μm pMOSFETs
Auteur: Ha, Jung-Min
Park, Jung-Woo
Felch, Susan
Fujihara, Kazuyuki
Kang, Ho-Kyu
Lee, Sang-In
Verschenen in: Surface & coatings technology
Paginering: Jaargang 136 (2001) nr. 1-3 pagina's 5 p.
Jaar: 2001
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Science B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 6 van 63 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland