|
Spatial distributions of ion-species in a large-volume inductively coupled plasma source |
|
|
|
Titel: |
Spatial distributions of ion-species in a large-volume inductively coupled plasma source |
Auteur: |
Okuji, S Sakudo, N Hayashi, K Okada, M Onogawa, T Maesaka, T Nishiyama, Y Komatsu, K Toyoda, K Yashima, S Ishida, T Awazu, K |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 136 (2001) nr. 1-3 pagina's 4 p. |
Jaar: |
2001 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|