|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 31 van 146 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of crystallinity and preferred orientation of Ta2N films on diffusion barrier properties for copper metallization |
| Auteur: |
Chung, Hung-Chin Liu, Chuan-Pu |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 200 (2006) nr. 10 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 31 van 146 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |