|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 21 van 138 gevonden artikelen
| Titel: |
Computational thermodynamic study on CVD of silicon oxynitride films from Si–O–N–H and Si–O–N–H–Cl systems |
| Auteur: |
Huang, Wei Wang, Junjun Xu, Qingfang Yang, Meijun Liu, Kai Peng, Jian Wang, Chuanbin Tu, Rong Zhang, Song |
| Verschenen in: |
Ceramics international |
| Paginering: | Jaargang 50 () nr. 8 pagina's 13439-13446 |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 21 van 138 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |