|
Low temperature (002)-oriented zinc oxide films prepared using ozone-based spatial atomic layer deposition |
|
|
|
Titel: |
Low temperature (002)-oriented zinc oxide films prepared using ozone-based spatial atomic layer deposition |
Auteur: |
Wu, Wen-Bin Hsu, Chia-Hsun Yue, Xin-Xiang Zhang, Wen-Zhi Zhang, Jing Zhang, Xiao-Ying Gao, Peng Wu, Wan-Yu Wuu, Dong-Sing Lai, Feng-Min Lien, Shui-Yang |
Verschenen in: |
Ceramics international |
Paginering: |
Jaargang 50 () nr. 15 pagina's 26770-26779 |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd and Techna Group S.r.l. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|