|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 166 gevonden artikelen
| Titel: |
Atomic layer deposition of molybdenum oxide using (N t Bu)2(NMe2)2Mo, hydrogen peroxide (H2O2), and ozone (O3) for DRAM application |
| Auteur: |
Lee, Seunghwan Yang, Hae Lin Kim, Beomseok Lee, Jinho Lim, Hanjin Park, Jin-Seong |
| Verschenen in: |
Ceramics international |
| Paginering: | Jaargang 49 () nr. 3 pagina's 5292-5297 |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd and Techna Group S.r.l. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 166 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |