|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 161 gevonden artikelen
| Titel: |
Annealing effect on SiNx/SiO2 superlattice with ultrathin sublayer fabricated using plasma-enhanced atomic layer deposition |
| Auteur: |
Ma, Hong-Ping Gu, Lin Shen, Yi Huang, Wei Liu, Yu-Hang Zhu, Jing-Tao Zhang, Qing-Chun |
| Verschenen in: |
Ceramics international |
| Paginering: | Jaargang 48 () nr. 15 pagina's 22123-22130 |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd and Techna Group S.r.l. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 161 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |