|
Effect of ITO target crystallinity on the properties of sputtering deposited ITO films |
|
|
|
Titel: |
Effect of ITO target crystallinity on the properties of sputtering deposited ITO films |
Auteur: |
Yang, Shumin Sun, Benshuang Liu, Yang Zhu, Jinpeng Song, Jianxun Hao, Zhenhua Zeng, Xueyun Zhao, Xu Shu, Yongchun Chen, Jie Yi, Jianhong He, Jilin |
Verschenen in: |
Ceramics international |
Paginering: |
Jaargang 46 () nr. 5 pagina's 6342-6350 |
Jaar: |
2020 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd and Techna Group S.r.l. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|