|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 12 gevonden artikelen
| Titel: |
BF2 ion implantation in silicon through surface oxides, behaviour of the fluorine with rapid thermal annealing |
| Auteur: |
Ozturk, M.C. Wortman, J.J. Chu, W.K. Rozgonyi, G. Griffis, D.P. |
| Verschenen in: |
Materials letters |
| Paginering: | Jaargang 5 (1987) nr. 9 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
1987 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 12 gevonden artikelen
| volgende >> |