Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 31 van 82 gevonden artikelen
 
 
  Efficiency of high energy fluorocarbon molecule bombardment for fast etch rate and its limitation: A molecular dynamics study
 
 
Titel: Efficiency of high energy fluorocarbon molecule bombardment for fast etch rate and its limitation: A molecular dynamics study
Auteur: Um, Junghwan
Kang, Keonwook
Verschenen in: Materials letters
Paginering: Jaargang 365 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2024
Inhoud:
Uitgever: The Authors
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 31 van 82 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland